纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置光栅/电容位移传感器，通过高···
纳米定位扫描平台由压电陶瓷驱动，采用双轴并联对称柔性机构设计，内置超高精度电容/光栅位移传感器···
XYZ并联式纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置光栅/电容微···
长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可···
XY长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现···
NP-VCM-XY 音圈电机驱动偏摆台采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴（θx，θy）旋转运动···
高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算···
NP-PZT-XY 压电陶瓷驱动偏摆台采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴（θx，θy）旋转运动···
电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列···
•CDM-300控制器 以CDM-300三通道控制器为核心的电容式微位移传感器用于对指标有着极高要求的超···
CDM-600控制器 以CDM-600六通道控制器为核心的电容式微位移传感器用于对指标有着极高要求的超精密测量···
1. 电子束尺寸测量的意义通常电子束光刻（EBL，Electron Beam Lithography）的曝光工艺，需要根据电子束的辐照密度确定曝光时间，···
在刚刚结束的2023全球精英创新创业大赛——鹿城分区赛总决赛中，我公司凭借其独特而卓越的“微纳测量···
SEMICON China 2024SEMICON CHINA 2024 蓄势待发 2024 SEMICON CHINA将于于3月20-22日在上海新国···
CIOE第24届中国国际光电博览会作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会，第24届中国国际光电博览会将于2023年9月6-8日深圳国际···
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