高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理,提供无限行程的同时保证纳米级分辨率,借助独特的硬件及控制算法,可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点:
高精度、高稳定性、高运动速度
轴心误差和晃动补偿与抑制
支持开环/闭环运动模式
超高真空兼容性
轻量化设计,结构紧凑
模块化设计,摩擦单元可替换
应用领域:
样品检验
精密微组装
光路切换
显微CT
机器视觉
半导体检测
机械参数:
型号 | RP-50C | RP-100C |
转动行程 | 360°(θZ) | 360°(θZ) |
几何尺寸 | 60*60*14.5mm | 100*17mm |
竖直最大负载 | 2kg | 4kg |
重量 | 180g | 400g |
精度参数:
转动重复精度 | 200µrad |
最小转动分辨率 | 20µrad |
工作环境:
支持真空环境 | 1x10-6 Pa |
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