多维精密调姿系统为模块化混联设计，自主开发的一体化集成的控制系统实现跨尺度空间多维度协同定位与动态扫描，适合于样品多维精密调姿与动态扫描应用。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
· 跨尺度样品定位
· 混联多自由度精密调姿
· 高动态空间扫描
· 超高真空环境应用
规格参数：
行程X，Y，Z | ≥ ±10 mm，±10 mm，±5 mm |
行程θX，θY，θZ | ≥ ±10°, ±10°, ±10° |
X，Y，Z平动调整精度 | ≤1um（带载） |
| 最大平动定位误差 | -/+0.5um |
X，Y，Z平动速度 | ≥0.5mm/s |
重复定位精度X，Y，Z | ≤ ±0.5 μm |
转动调整精度θX，θY，θZ | ≤ ±25 μrad |
最大转动定位误差 | ＜-/+15 μrad |
转动速度θX，θY，θZ | ≥0.5mrad/s |
最大负载能力（水平放置） | 40kg |
负载能力（其他方向） | 10kg |
工作温度范围 | 0℃~50℃ |
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