电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列产品可实现非接触测量，保证了极高的测量分辨率、线性度以及高测量带宽，满足各种应用场景下纳米级的测量需求，能在恶劣的环境条件下工作。

技术特点：

• 百微米至数千微米级测量范围

• 超高精度（皮米级极限分辨率）、高线性度、低漂移

• 高带宽高动态测量

• 可针对真空及空间等特殊环境定制

应用领域：

• 压电微位移

• 振动台

• 电子显微镜微调

• 精密位移测量

规格参数：

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电容式微位移传感器数据手册+三维模型.zip