XYZ并联式纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置光栅/电容微位移传感器，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 超高定位精度

• 多轴高动态协同联动

• 无摩擦、零间隙、免装配

• 高刚度、高负载

• 紧凑型结构设计

• 轴间运动学解耦设计

• 多运动模式:定位/扫描

• 可实现正置、倒置的灵活应用

• 真空兼容性，温度使用范围广

应用领域：

• 扫描电子显微镜

• 同步辐射光源

• 显微操作

• 双光子聚合

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

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