纳米定位扫描平台由压电陶瓷驱动，采用双轴并联对称柔性机构设计，内置超高精度电容/光栅位移传感器，结合自主研发的纳米伺服控制系统和先进伺服控制算法，可有效实现亚纳米级分辨率、纳米级精度的定位与扫描运动。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

 · 超高定位精度

 · 高动态

 · 轴间运动学解耦设计

 · 多运动模式：定位/扫描

 · 兼容超高真空

 · 运动行程：50~200um

应用领域：

 · 光学对准

 · 纳米压印

 · 显微成像/操纵

 · 表面检测

 · 半导体加工

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

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二维定位扫描压电纳米平台二维图+三维模型.zip