纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置光栅/电容位移传感器，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 超高定位精度

• 高动态

• 多运动模式：定位/扫描
  

• 兼容超高真空

• 运动行程：50~200um

应用领域：

• 超分辨显微成像

• 表面微纳结构光学检测

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

资料下载

一维Z向物镜平台二维图纸.pdf