音圈电机驱动柔性纳米平台，基于具有大变形能力的柔性板簧机构单元，采用串联、并联和混联结构设计，实现毫米级行程、纳米级精度的单轴/多轴、平面/空间的跨尺度定位与扫描运动。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 紧凑型结构设计；

• 轴间运动学解耦设计；

• 跨尺度、高精度；

• 无摩擦、零间隙、免装配；

• 真空兼容性。

应用领域：

• 纳米压印技术

• 显微操作

• 视觉伺服

• 激光加工

• 光学对准测量

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 音圈平台 音圈纳米台 纳米音圈平台 纳米定位台 音圈柔性铰链平台 音圈扫描台 音圈定位台 音圈纳米定位台